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北京科創鼎新真空技術有限公司

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科學實驗設備

真空控壓系統

真空控壓系統

軟件信息

工藝性能：
2.1具體調試：隔膜抽水環真空泵渦流自吸式抽水環真空泵1臺；高質量視頻蒸汽國內流量計1臺；視頻國內流量調整閥1臺；緩壓器1臺；控住裝置1套；聚氨酯保溫管裝置1套。
2.2真空體泵：渦流干泵抽速45m³/h，標準接口KF40；
2.3用戶計：適用厚禮博S4933機型貨品，滿量程0-100SCCM，要求1%；
2.4針對于訪客腔室主板接口需要：KF40；
2.5視頻流量自動控制閥：電動伸縮，KF40插口；
2.6操控系統的：PLCPLC操控器，PLC操控，接觸屏運營；
2.7控壓：3.0E-3Pa至大氣環境壓，提示誤差0.1Pa，控壓誤差±0.5-5Pa可以控制，用戶名可在摸屏設計壓力表力性能指標，程序自定義下達，系統自動可以調節打氣和抽時間；
2.8負壓規：測量范圍之內13000Pa至0.1Pa（可手動調節），計算精度0.25%；
2.9充汽式：配備電磁感應止回閥與視頻水流量計做好充汽式，的氣體媒介為氬氣；
2.10真空室體計：ZDZ-52T電阻器真空室體計，ZJ-52T規管，測定定位精度35%。
全部圖片動態展示：
 
 

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