看幾大類
主要技術指標
1.空載(zai)極(ji)限壓力（120分(fen)鐘內達到(dao)）：優于5e-4 Pa。
2.充氣(qi)式5 sccm(氙氣(qi)、氪氣(qi)）下事情壓力值: ≤1.0e-3 Pa。
3.負(fu)壓腔(qiang)體布(bu)料材質：304不(bu)銹(xiu)鋼裝飾(shi)管嗎。
4.渦流腔(qiang)身體(ti)壁很好發展空間≥Φ800 mm x 1000 mm，按照臥試圓錐形型。
5.真空(kong)環境(jing)腔門(men)3個，分為在腔體(ti)兩端，為角鏈式(shi)正門(men)。
6.駕駛臺(tai)采光(guang)安裝。
7.腔(qiang)體上(shang)面可裝有石英砂(sha)夾(jia)層(ceng)玻璃腔(qiang)，基本采用放上(shang)電噴霧的(de)角度(du)控制系(xi)統，更能氣(qi)象(xiang)觀測(ce)。
8.工質(zhi)氣味體系：大氣壓力有(you)效(xiao)管(guan)理范圍內1KPa—30KPa，有(you)效(xiao)管(guan)理可靠(kao)性強，精密(mi)度0.5%；壓阻(zu)真空系統儀器(qi)儀表在線測量可靠(kao)性強，精密(mi)度。5%-10%；
9.品(pin)質聯(lian)通(tong)國(guo)內流量數(shu)據的(de)管(guan)(guan)理：多套聯(lian)通(tong)國(guo)內流量數(shu)據的(de)管(guan)(guan)理設計(ji)，聯(lian)通(tong)國(guo)內流量數(shu)據的(de)空間(jian)0~10 sccm，聯(lian)通(tong)國(guo)內流量數(shu)據的(de)導(dao)致精度(du)1%，實現(xian)供給充(chong)足氙氣、氪氣等。供氧管(guan)(guan)為生橡膠連接(jie)管(guan)(guan)，里(li)面的(de)接(jie)轉矩(ju)器線(xian)路為熱熔膠連接(jie)管(guan)(guan)。
10.面上辦(ban)理：縱向面上電解法(fa)拋光(guang)辦(ban)理。
11.系統的(de)漏率：1.0x10-12Pa·m3/s。
正空腔放氣率：2.6x10-9Pa·m3/s。
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