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1．原料：304不(bu)銹鋼(gang)；
2．真(zhen)空室度(du)：2x10-5Pa；
3．抽(chou)氣(qi)濃(nong)度(du)：層(ceng)結加入10-3Pa≤20多分鐘；
4．真空(kong)體(ti)腔法律(lv)主(zhu)體(ti)內尺寸：400x400mm，直經x高；
5．進口(kou)真(zhen)空腔上半部有(you)個活動門(men)，為合頁式(shi)側開，適(shi)用氟膠圈(quan)形式(shi)密封性能；
6．上蓋心中所在位置(zhi)有9個(ge)Φ100石英砂磨砂玻璃觀擦窗；
7．抽(chou)真空腔體方面均布4個(ge)插(cha)孔，在當中3個(ge)為ISO 160盲板插(cha)孔，一(yi)為DN150抽(chou)氣口；
8．腔(qiang)體抽(chou)氣口(kou)外(wai)側KF16,KF40測(ce)重(zhong)力作用口(kou)各9個，KF25放氣口(kou)9個；
9．表(biao)面層治理：鈦電極拋光除理治理；
10．系統漏率(lv)：-10Pa·m3/s。
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