的技術指(zhi)標
1.原(yuan)料:304裝飾管;
2.真空室度(du):5*10-5Pa;
3.釋放電(dian)能的電(dian)壓(ya):12KV;
4.蒸空腔體方面(mian)管理中心連接具備條件6個(ge)≥300的(de)關(guan)察(cha)窗,300關(guan)察(cha)窗直(zhi)對面(mian)有(you)(you)6個(ge)150mm關(guan)察(cha)窗,表層靠一端有(you)(you)6個(ge)150mm關(guan)察(cha)窗;
5.進(jin)口真空箱兩側有5個(ge)8芯航空公司插座(zuo)端口;
6.表面層凈化工(gong)作(zuo):電解設備打磨拋光(guang)凈化工(gong)作(zuo);
7.機(ji)系統漏率(lv):5.0x10-11Pa·m3/s。