機主要的配置單:科技指標(biao)
規格尺(chi)寸(cun)主要參數 |
PHOENIX Quadro TRIVAC D2.5E |
重(zhong)力作用格(ge)局可探測(ce)的氦用戶名率 |
5x10-12mbar l/s |
加(jia)載事件 |
<1 s |
通道(dao)負荷 |
15 mbar |
抽氦時速ULTRA |
>3.1 l/s |
可的檢測(ce)的汽體(ti) |
4He、H2、產品數3 |
吸槍的(de)模式切換可查測(ce)的(de)氦用戶名率 |
1x10-8mbar l/s |
吸槍SL300的氣(qi)用(yong)戶 |
20-25 sccm |
測試(shi)范圍(wei)內 |
1倆個數目級 |
進行(xing)用時 |
110 s |
陽離子(zi)源(yuan) |
雙燈絲 |