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高主要技術指標(biao)體系
真空環境腔(qiang)體可隨著用(yong)戶(hu)賬戶(hu)具體需求設(she)計制作有差異(yi)的大小尺寸(cun)大小
限真空(kong)箱≥1x10-5Pa
蒸汽(qi)加熱攝氏(shi)度≤800℃
系統自己的(de)漏(lou)率(lv)≥1x10-12mbar l/s
上一條：MBE分子束外延腔體
下一條：沒有了
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