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氦檢漏儀檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰及電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進入室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收及而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。
氦檢漏儀是用(yong)氦氣為示(shi)漏混合氣體的正規用(yong)作(zuo)檢(jian)漏的分(fen)析(xi)儀器設(she)備(bei)，它具有著特性安穩、敏銳(rui)度度更高的特色(se)。是真空(kong)度檢(jian)漏方法中敏銳(rui)度度較高，使用(yong)較單(dan)一化的檢(jian)漏分(fen)析(xi)儀器設(she)備(bei)。
氦檢漏儀由亞(ya)鐵離(li)子源、探(tan)討器(qi)、采(cai)集(ji)而來器(qi)、冷陰及電離(li)規成分(fen)的質譜室和抽氣裝置及電力設備的部分(fen)等(deng)成分(fen)。
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