真空腔體常用的清洗方法

1、放電清洗

放(fang)電(dian)(dian)清(qing)洗一般用于(yu)高真空、超高真空腔(qiang)體(ti)清(qing)洗中.放(fang)電(dian)(dian)清(qing)洗的效果取(qu)決于(yu)電(dian)(dian)機材料、幾何形(xing)狀(zhuang)及(ji)其與(yu)表面的關系.利用電(dian)(dian)子(zi)轟擊氣(qi)體(ti)造成解吸以及(ji)某(mou)些碳(tan)氫化(hua)合(he)物的去除.

2、氮氣清洗

氮氣(qi)清洗主(zhu)要是(shi)利用(yong)了氮氣(qi)在材料表面(mian)的吸附熱小、吸留時(shi)間短,容易被抽(chou)走的特性,用(yong)氮氣(qi)沖洗被污染的真(zhen)空系(xi)統,同(tong)時(shi)擠占水(shui)氣(qi)等其他氣(qi)體(ti)分子的粘(zhan)附空間,縮(suo)短真(zhen)空系(xi)統的抽(chou)氣(qi)時(shi)間.

真空腔體除塵過濾方式及過濾裝置大家了解多少呢？

有些真(zhen)(zhen)空工藝會(hui)產(chan)生(sheng)大量的(de)(de)(de)塵(chen)土(tu)(tu)，如果(guo)塵(chen)土(tu)(tu)隨(sui)被抽氣體進(jin)入油封真(zhen)(zhen)空泵(beng)內混(hun)在泵(beng)油中，會(hui)像研磨劑一樣加(jia)速泵(beng)腔內零件的(de)(de)(de)磨損，對泵(beng)轉子和(he)泵(beng)腔造成磨損和(he)損壞(huai)，堵(du)塞(sai)油路或使(shi)泵(beng)無法運轉，如果(guo)塵(chen)土(tu)(tu)進(jin)入真(zhen)(zhen)空閥門則(ze)會(hui)使(shi)密(mi)封失效(xiao)而泄(xie)漏(lou)，因(yin)(yin)此(ci)塵(chen)土(tu)(tu)的(de)(de)(de)規避(bi)和(he)過(guo)濾己成為增(zeng)加(jia)真(zhen)(zhen)空腔體的(de)(de)(de)使(shi)用(yong)壽命，增(zeng)加(jia)生(sheng)產(chan)率的(de)(de)(de)關(guan)鍵問題，在有塵(chen)土(tu)(tu)的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空系統中，要(yao)采(cai)用(yong)塵(chen)土(tu)(tu)過(guo)濾器。影響真(zhen)(zhen)空絕緣水平的(de)(de)(de)主要(yao)因(yin)(yin)素電(dian)極的(de)(de)(de)幾許形(xing)狀(zhuang)電(dian)極的(de)(de)(de)幾許形(xing)狀(zhuang)對電(dian)場的(de)(de)(de)分布有很(hen)大的(de)(de)(de)影響，往(wang)往(wang)因(yin)(yin)為幾許形(xing)狀(zhuang)不行(xing)恰當(dang)，引起(qi)電(dian)場在部分過(guo)于(yu)集中而導(dao)致(zhi)擊穿(chuan)，這一點(dian)在高(gao)電(dian)壓的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空產(chan)品中特別杰出(chu)。

在塵土(tu)量較少時(shi)，可以(yi)由泵油過濾(lv)系統(tong)濾(lv)除，但塵土(tu)量較大時(shi)，為不讓(rang)真空泵損(sun)壞，讓(rang)真空泵的正常運轉要使(shi)用除塵器(qi)。真空腔體加工廠家解(jie)釋說(shuo)常用塵土(tu)過濾(lv)方(fang)法有以(yi)下幾種：

（1）旋風離(li)心(xin)(xin)式。進氣(qi)口與筒體成(cheng)偏疼(teng)放置，塵土隨氣(qi)流旋轉，因離(li)心(xin)(xin)力效果(guo)而沉降在過濾器的(de)底部。

（2）油(you)淋(lin)式。在油(you)泵的(de)效果(guo)(guo)下(xia)，使真空泵油(you)從除塵(chen)器的(de)頂部高速(su)噴下(xia)，油(you)霧(wu)與上升的(de)氣流相互效果(guo)(guo)吸附(fu)，混在氣流中的(de)塵(chen)土(tu)與油(you)一同沉降(jiang)至(zhi)油(you)池。

（3）油濕介質粘附式。塵土在氣流效果下磕碰用真空泵油浸濕的介質外表(biao)而被粘附，常(chang)用介質有環狀或顆粒(li)狀陶瓷、金屬絲條(tiao)等。

（4）介質(zhi)阻撓式。使用介質(zhi)的機械阻撓效果過濾塵土(tu)，常用介質(zhi)有(you)金屬(shu)絲網、天然或合(he)成纖維(wei)、多(duo)孔金屬(shu)、多(duo)孔塑(su)料等(deng)。

（5）靜電吸附式(shi)。使用真空中氣輝光放電構成等離(li)子體，塵(chen)土(tu)在等離(li)子體中附著(zhu)電荷，在電場力(li)效果下(xia)被驅向電極外表而集。

（6）混合(he)式。將以上幾種過濾(lv)形(xing)式進行組合(he)構成混合(he)的(de)過濾(lv)形(xing)式。

影響真空絕緣水平的主要因素

電極資料

真空開(kai)關作業在(zai)10-2Pa以上的高真空，因為此刻(ke)氣體分子(zi)十分稀疏，氣體分子(zi)的碰撞游離(li)對擊穿已(yi)經(jing)不起效果，因而擊穿電(dian)(dian)壓表現出和(he)電(dian)(dian)極資料有較強的相(xiang)關性。

真空(kong)空(kong)隙的擊穿電(dian)(dian)壓跟(gen)著電(dian)(dian)極(ji)資料(liao)的不同而不同，研究者發現(xian)擊穿電(dian)(dian)壓和資料(liao)的硬度(du)與機械(xie)強(qiang)度(du)有關。一般來說，硬度(du)和機械(xie)強(qiang)度(du)較(jiao)高(gao)的資料(liao)，往往有較(jiao)高(gao)的絕緣強(qiang)度(du)。比如，鋼(gang)電(dian)(dian)極(ji)在淬火后硬度(du)進步，其擊穿電(dian)(dian)壓較(jiao)淬火前可進步80%。

此外，擊(ji)穿(chuan)電(dian)壓還和陰極資(zi)料(liao)的物理(li)常數如熔點、比熱(re)和密度等(deng)正相關，即熔點較高(gao)的資(zi)料(liao)其擊(ji)穿(chuan)電(dian)壓也較高(gao)。比照熱(re)和密度而言亦然。這一問題的實質是在相同熱(re)能的效果下，資(zi)料(liao)發作(zuo)熔化的概率越大，則擊(ji)穿(chuan)電(dian)壓越低。

真空度

顯現了空(kong)隙擊穿(chuan)電壓(ya)和氣(qi)體(ti)(ti)(ti)壓(ya)強之間的(de)關系。由圖可(ke)以(yi)(yi)看(kan)(kan)到真(zhen)空(kong)度(du)(du)高(gao)于(yu)10-2Pa時，擊穿(chuan)電壓(ya)基本上不(bu)再跟著氣(qi)體(ti)(ti)(ti)壓(ya)力(li)的(de)下降而增(zeng)大，因為(wei)氣(qi)體(ti)(ti)(ti)分子碰撞游離(li)現象已不(bu)復興效果(guo)。當(dang)氣(qi)體(ti)(ti)(ti)壓(ya)力(li)從(cong)10-2Pa逐步(bu)升高(gao)時(真(zhen)空(kong)度(du)(du)下降)，擊穿(chuan)強度(du)(du)逐步(bu)下降，以(yi)(yi)后又隨氣(qi)壓(ya)的(de)而。從(cong)曲線(xian)上可(ke)以(yi)(yi)看(kan)(kan)出真(zhen)空(kong)度(du)(du)高(gao)于(yu)10-2Pa時其耐壓(ya)強度(du)(du)基本上堅持不(bu)變。真(zhen)空(kong)腔體(ti)(ti)(ti)通常包括(kuo)一(yi)系列(lie)部品——如鐘形罩、基板(ban)、傳(chuan)動(dong)軸(zhou)以(yi)(yi)及輔助井——這(zhe)些構(gou)成一(yi)個完(wan)整(zheng)的(de)真(zhen)空(kong)腔體(ti)(ti)(ti)。這(zhe)就標明，真(zhen)空(kong)滅弧室的(de)真(zhen)空(kong)度(du)(du)在10-2Pa以(yi)(yi)上時完(wan)全可(ke)以(yi)(yi)滿足正常的(de)運用需(xu)求(qiu)。