真空腔體加工的注意事項

真(zhen)空腔(qiang)體是(shi)保持內部(bu)為真(zhen)空狀態(tai)的容器，真(zhen)空腔(qiang)體加工要考慮(lv)容積、材質和(he)形狀。

超高真(zhen)空系統主(zhu)要采用不銹鋼(gang)材質。其中(zhong)300系列不銹鋼(gang)(表1)是含Cr10%～20%的低碳鋼(gang)，具有(you)優良的抗腐蝕性、無磁性、焊接性好、導(dao)電率、放氣率低和(he)導(dao)熱(re)率低、能夠(gou)在-270～900℃工作等優點，在高真(zhen)空和(he)超高真(zhen)空系統中(zhong)，應用較廣(guang)。

為了減小腔(qiang)(qiang)體內壁的(de)表面積，通常用(yong)噴砂(sha)或電解拋光(guang)的(de)方(fang)式(shi)來(lai)獲得平坦的(de)表面。超(chao)高真(zhen)空系統的(de)腔(qiang)(qiang)體，更多的(de)是利用(yong)電解拋光(guang)來(lai)進行表面處理。

真空腔體加工檢漏的辦法

一(yi)、真空封泥檢測法

用(yong)真空泥(ni)封(feng)住(zhu)的漏點(dian)，此時要注意觀察真空度的改變，假(jia)如貼上真空泥(ni)之(zhi)后真空度上升(sheng)較快，拿掉之(zhi)后又有了(le)顯著(zhu)的下(xia)降，這(zhe)說(shuo)明(ming)就是一個漏點(dian)哦。然而，這(zhe)個辦法在實際檢(jian)測(ce)頂用(yong)的比較少

二、真空(kong)計檢(jian)漏法

部(bu)分真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)計(ji)(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)讀數與氣體(ti)種類有關，例如電離真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)計(ji)(ji)(ji)，熱(re)(re)偶(ou)(ou)計(ji)(ji)(ji)。用(yong)(yong)合(he)適(shi)的(de)(de)(de)(de)氣體(ti)或許(xu)液(ye)體(ti)做示(shi)漏(lou)物質(zhi)，這些真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)計(ji)(ji)(ji)就(jiu)成了探測(ce)器(qi)，一(yi)般鍍膜(mo)機上都會(hui)有真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)計(ji)(ji)(ji)，在實際使(shi)用(yong)(yong)中也(ye)是比(bi)較(jiao)常用(yong)(yong)的(de)(de)(de)(de)檢漏(lou)辦法。熱(re)(re)偶(ou)(ou)計(ji)(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)示(shi)漏(lou)物質(zhi)有二(er)氧化碳，丁烷，酒精等，熱(re)(re)偶(ou)(ou)計(ji)(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)反(fan)響(xiang)比(bi)較(jiao)慢，要(yao)(yao)仔細觀察(cha)。在油(you)泵的(de)(de)(de)(de)效果(guo)(guo)下(xia)，使(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵油(you)從除塵器(qi)的(de)(de)(de)(de)頂(ding)部(bu)高速噴下(xia)，油(you)霧與上升的(de)(de)(de)(de)氣流(liu)相(xiang)互效果(guo)(guo)吸附，混在氣流(liu)中的(de)(de)(de)(de)塵土與油(you)一(yi)同沉降至油(you)池。用(yong)(yong)于電離計(ji)(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)示(shi)漏(lou)物質(zhi)主要(yao)(yao)有氦，，酒精等。

真空腔體制造技術

基板(ban)(ban)指的(de)是一個大(da)的(de)法蘭適(shi)配器，可(ke)以把一個位(wei)置低的(de)腔體或者鐘形罩連接到真(zhen)空泵(beng)。基板(ban)(ban)通常有一個位(wei)于中心位(wei)置的(de)端口(kou)或者法蘭連接裝置，可(ke)連接到真(zhen)空抽氣系(xi)統(tong)。

脫氣(qi)(qi)箱或者脫氣(qi)(qi)室通常是腔體(ti)結構，一般帶有鉸鏈接(jie)口，可(ke)連接(jie)不需要高真(zhen)空環境(jing)的(de)其他裝(zhuang)置，如塑料樣品、血液、粘合(he)劑、化學制品或其他液體(ti)的(de)除(chu)氣(qi)(qi)設備。

輔助井用于連接抽氣系統(tong)和鐘形罩。

基地井整(zheng)合了基板(ban)和(he)(he)真(zhen)空密(mi)封(feng)頸，用焊接(jie)接(jie)頭(tou)取代一個真(zhen)空密(mi)封(feng)件(jian)，可以同時實現(xian)基板(ban)和(he)(he)密(mi)封(feng)設(she)備兩個部件(jian)的功能。

鐘形(xing)罩由圓柱(zhu)形(xing)的主體(ti)和(he)一個半球(qiu)形(xing)或球(qiu)形(xing)的端口組(zu)成(cheng)。可(ke)選材料包括玻(bo)璃、金屬和(he)塑料。標準鐘形(xing)罩的直(zhi)徑是12英寸，14英寸，18英寸和(he)24英寸。

提供專用設(she)備腔(qiang)的定制服務，腔(qiang)體的外形和(he)開口可以根據用戶要求進行設(she)計。

表面分析腔有通(tong)用腔體(ti)，用戶也(ye)可(ke)以在通(tong)用腔體(ti)的基(ji)礎上進行自定義設計。

手套箱和焊接箱專用于熔煉或(huo)焊接鈦、鋅等(deng)對(dui)易在(zai)大(da)氣中氧化(hua)的(de)材料(liao)。

真(zhen)空密封(feng)頸(jing)是(shi)基板和鐘形罩之間(jian)的(de)過(guo)渡組(zu)件，它可以提供額外(wai)的(de)高度和更多(duo)的(de)自由端口(kou)。

裝載鎖定(ding)室(shi)是建(jian)在主(zhu)腔(qiang)體上的小腔(qiang)體，可在不破壞主(zhu)腔(qiang)體真空度的條件下，將樣(yang)本、晶(jing)片或其他組件從外部大氣(qi)環境移(yi)動到內部高真空環境中。

真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)腔(qiang)體(ti)可以(yi)按(an)照真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)進行分類，包(bao)括粗或低真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)(< 760, > 1 torr)，中真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)(< 1, >10-3 torr)，高(gao)(gao)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)(< 10-3, >10-8 torr)，超高(gao)(gao)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)(< 10-8 torr)，以(yi)及非(fei)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)的(de)(de)高(gao)(gao)壓力(li) (> 760 torr)。真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)腔(qiang)的(de)(de)寬度(du)和(he)外徑等常規(gui)尺寸(cun)(cun)是非(fei)常重要(yao)的(de)(de)參數。標準鐘形罩或柱形腔(qiang)體(ti)的(de)(de)可選直徑是12英(ying)寸(cun)(cun)，14英(ying)寸(cun)(cun)，18英(ying)寸(cun)(cun)和(he)24英(ying)寸(cun)(cun)。從曲線上可以(yi)看出真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)高(gao)(gao)于10-2Pa時其耐壓強(qiang)度(du)基本上堅持不變。

真空腔體(ti)或(huo)者真空組件的可(ke)選(xuan)項包括法蘭、裝配形(xing)式(shi)、表(biao)面拋(pao)光或(huo)電拋(pao)光、開口(kou)或(huo)傳導口(kou)，加熱器和冷卻(que)方式(shi)等(deng)。

Ferrotec在真空(kong)中制(zhi)造中的解決方案

使用(yong)磁(ci)流體(ti)密封件(jian)作(zuo)為在旋轉過程(cheng)中真空(kong)解決(jue)方案。磁(ci)流體(ti)密封件(jian)可以隔(ge)絕大氣和污(wu)染(ran)物。

制(zhi)備的(de)石英用(yong)來制(zhi)造視口(kou)及配件(jian)等組件(jian)，石英在許多其他加工工藝中也有(you)使用(yong)。

真(zhen)空鍍膜(mo)可選Ferrotec的(de)PVD電子束(shu)蒸(zheng)發(fa)系統。

如需了解更多真(zhen)空環境下的(de)制造(zao)信息(xi)，請參考真(zhen)空工業界的(de)資(zi)料。

復雜的(de)(de)(de)真空腔體通常需(xu)(xu)要定制(zhi)，即針對應用終端(duan)進行專門的(de)(de)(de)設(she)計和制(zhi)作(zuo)。某些(xie)常見的(de)(de)(de)真空腔體已經過預(yu)先設(she)計，如手套(tao)箱、焊接室、脫(tuo)氣(qi)(qi)箱、表面分(fen)析真空腔等(deng)。為了生產(chan)出(chu)匹配(pei)客戶需(xu)(xu)求的(de)(de)(de)產(chan)品(pin)(pin)，需(xu)(xu)要告(gao)知我(wo)公(gong)司以下幾個(ge)問題(ti)點(dian)：1、產(chan)品(pin)(pin)在(zai)使用過程(cheng)中是(shi)否有溫度產(chan)生，高溫和低溫分(fen)別是(shi)多少攝氏度，是(shi)否需(xu)(xu)要通水或液(ye)氮冷卻等(deng)內(nei)外(wai)在(zai)因(yin)素。例如脫(tuo)氣(qi)(qi)箱和手套(tao)箱一般采用低真空環境，可用于(yu)焊接，或用于(yu)塑料(liao)制(zhi)品(pin)(pin)、復合材料(liao)層壓板(ban)、封裝組件等(deng)的(de)(de)(de)脫(tuo)氣(qi)(qi)。