技術參數:
1.抽氣(qi)傳輸速(su)率:主泵(beng)600L/s,自動(dong)化(hua)機械泵(beng)4升/s;
2.結構(gou)設(she)計標淮衛生防護距離:5.0x10-5Pa;
3.操作(zuo)蒸空度(du):≤5.0x10-2Pa;
4.待保(bao)壓模式(shi):自然規律待保(bao)壓;
5.抽(chou)真空腔體(ti):內直徑300mm,位置400mm,304304不繡鋼,表(biao)層開業;
6.考察窗:正對(dui)著定(ding)位200mm;
7.四路氣態主板接口;
8.的質量(liang)(liang)用戶量(liang)(liang)計:2臺重量(liang)(liang)用戶量(liang)(liang)計,幾臺操作屏(ping)幕上顯示屏(ping),用戶量(liang)(liang)100ml/分種;
9.六(liu)路高壓氣航插插孔。